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【半導体業界向け】スリップリング付き ロータリージョイント

【半導体業界向け】スリップリング付き ロータリージョイント

お客様の事業別

ロータリージョイント（回転継手）

用途

  • 回転テーブルへの冷却水供給

特徴

  • 中空穴を設置しているため、スリップリング等との組み合わせ使用も可能
  • 純水・エアーを同時に回転体へ供給が可能

仕様

最高回転数 200min-1
圧力 0.3MPa
流体 純水・エアー（無回転時）


上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。


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