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クリアランスシールタイプ MFC型(真空チャック対応)

コンセプト

クリアランスシールタイプMFC型は、非接触シールで摩擦によるシール寿命がなく、低発熱かつ低発塵のロータリージョイントです。

枚葉式洗浄時などの半導体ウェハーの真空チャック にご使用頂けます。詳細はお問合せ下さい。

対応業界 (実績)

  • 電子半導体 
  • タイヤ&ゴム
  • 鉄鋼 
  • 食品
  • プラスチック 
  • 太陽&燃料電池
  • 化学
  • 風力発電

特徴

  • 低発熱&低発塵
  • 摩耗によるシール寿命がない

流体

  • 真空及びエアー
  • 作動油

使用条件

圧力 (MPa) 回転数 (min-1)
真空及びエアー -100kPa~0.5MPa ~3,000
作動油 ~21MPa

~1,000


※本製品はオーダーメード品となります。

 仕様に関しましては、別途御相談下さい。

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