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半導体業界向け

シングルポート L40 シリーズ


純水&薬液供給用

半導体業界向け純水&薬液供給用ロータリージョイント


■コンセプト

このロータリージョイントは半導体業界用に開発され、純水・薬液供給用で主回路には非金属材料を使用し、液体中への金属イオンの溶出を極力低減するロータリージョイントです。

■特徴
・主流路には非金属材料を使用し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減。

■流体
・純水、薬液 等 (別途御相談下さい)

■使用条件

圧力 (MPa) 回転数 (min-1) ポート数
L40 1 600 1

マルチポート MFES シリーズ


CMP&グラインダー用

半導体業界向けCMP&グラインダー用ロータリージョイント


■コンセプト

・このロータリージョイントも半導体業界用に開発され、接液部に非金属材料の 使用やコーティングを施し、液体中への金属イオンの溶出を極力おさえる構造も可能なロータリージョイントです。

■特徴
・接液部に非金属材料の使用やコーティングを施し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減する構造も可能。

■流体
・純水、エアー、真空、スラリー 等 (別途御相談下さい)

■使用条件

圧力 (MPa) 回転数 (min-1) ポート数
MFES 1 200 2~


※半導体業界向けロータリージョイントはオーダーメード品となります。

仕様に関しましては、別途御相談下さい。

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