【半導体業界向け】ウエハ真空チャック用 ロータリージョイント
ロータリージョイント（回転継手）
シングルポート MFC1Pシリーズ
用途
- ウエハ加圧用のエアー供給
- ウエハの真空チャック（吸着）
特徴
- クリアランスシールの採用により低発熱・低発塵を実現
仕様
| 最高回転数 | 6000min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa ～ 0.5MPa (※1) |
| 流体 | 真空・エアー |
| 材質 |
SUS他 |
(※1)クリアランスシールのため、圧力保持はできません。
また、真空到達圧は、真空ポンブの性能により異なります。
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
マルチポート MFCシリーズ
用途
- ウエハ加圧用のエアー供給
- ウエハの真空チャック（吸着）
特徴
- クリアランスシールの採用により低発熱・低発塵を実現
仕様
| 最高回転数 | 3000min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa ～ 0.5MPa (※1) |
| 流体 | 真空・エアー |
| 材質 |
SUS他 |
(※1)クリアランスシールのため、圧力保持はできません。
また、真空到達圧は、真空ポンブの性能により異なります。
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
ロータリージョイント（回転継手）
