【半導体業界向け】テーブル冷却用 ロータリージョイント
ロータリージョイント（回転継手）
2ポート MSシリーズ
用途
- 回転テーブルヘの冷却水供給
特徴
- ロータリージョイントの回転軸の中心に中空穴を開けることも可能
仕様
| 最高回転数 | 200min-1 |
| 圧力 | 0.5MPa |
| 流体 | 純水 |
| 材質 |
SUS他 |
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
3ポート MSシリーズ
用途
- ウエハ加圧用のエアー供給
- ウエハの真空チャック（吸着）
- 真空破壊用のエアー供給
- 回転テーブルヘの冷却水供給
- 純水の供給
特徴
- 純水・真空・エアーなど、複数流体を同時に回転体へ供給することが可能
- 最大5ポートまで対応が可能
仕様
| 最高回転数 | 850min-1 |
| 圧力 | -0.1MPa ～ 0.6MPa |
| 流体 | 真空・エアー・純水 |
| 材質 |
SUS他 |
上記仕様は一例となります。型式によっては仕様が変更となります。
ロータリージョイント（回転継手）
