ケミカルフィルター（AMCフィルター）

半導体歩留まりの向上は
簡単交換のケミカルフィルターで実現！

そのお悩み、従来型フィルターが原因かもしれません

歩留まり改善の頭打ち

生産ラインでの歩留まり向上が停滞している。

高すぎる運用コスト

フィルターの価格、交換費用、エネルギー消費など、ランニングコストが想定以上に高い。

困難で危険な交換作業

フィルターが重く（10-20kg）、交換に多くの人員と時間を要し、作業の安全性が懸念される。

増え続ける廃棄物と環境負荷

交換のたびに大量の産業廃棄物が発生し、企業のサステナビリティ目標達成の障害となっている。

従来型「一体型」フィルターの構造的課題

一体型構造

複数の濾過材が一体化されているため、一つの汚染物質で性能が低下しても、フィルター全体の交換が必要。

無駄なコストと廃棄物を生む根本原因。

重量と作業負荷

10-20kgが一般的。高所や狭所での交換作業は多大な工数と危険を伴う。

大量の廃棄物

フレームごと廃棄するため、リサイクルできず大量の産業廃棄物が発生する。

各層のフィルターが特定の汚染物に対応。

性能が低下した層だけを交換することで、メンテナンス効率が最大化し、コストと廃棄物を劇的に削減します。

選ばれる3つの理由

効率性：コストと時間を半分以下に

	トータルコスト：50%以上削減 従来比50%減の低圧力損失（40Pa vs 100-200Pa）がファンの消費電力を削減。 劣化した層のみの交換で消耗品コストを最適化。
	交換作業時間：30%以上削減 1層あたり3kg未満の軽量設計と、シンプルな引き出し式/重ね合わせ式構造により、安全かつ迅速な交換を実現。
	廃棄物：50%以上削減 再利用可能なフレームと、再生可能なフィルタークロス（VOC）により、廃棄物の発生を最小限に抑制。

信頼性：最先端プロセスを支える確かな実績

採用実績

台湾大手半導体メーカーの認定サプライヤー。

2～10nmの先進プロセスで豊富な採用実績。

台湾自社工場での一貫生産

全製品を品質管理の行き届いた自社工場で製造。

国際認証

・ISO 9001:2018（品質マネジメント）

・ISO 17025（認定試験室）

・ISO 45001（労働安全衛生）

カスタム対応

お客様の除去対象ガスや目標濃度に合わせ、フィルターの仕様を最適化。

自社試験室での分析に基づき、最適なソリューションを提案。

環境配慮："捨てる"から"再利用"へ

フレーム再利用（Frame Reuse） 外枠フレームは分解可能な設計で、繰り返し使用可能（最大15回）。 接着剤不使用のためアウトガス汚染のリスクも排除。 フィルタークロス再生 （Filter Media Regeneration） 使用済みVOCフィルタークロスは、自社設備で再生・再利用。 CO₂排出量削減 （CO₂ Emission Reduction） ISO 14067（カーボンフットプリント）認証取得。 製品ライフサイクル全体で環境負荷を低減。

クリーンルームのあらゆる場所に最適ソリューションを

FFU / Tool向け：作業性と安全性を極めた主力製品

引き出し式モジュラー化学フィルター

重ね合わせ式モジュラー化学フィルター

MAU / RCU向け：長寿命と超低圧損で外気をクリーンに

V型モジュラー化学フィルター

円筒式化学フィルター

移動式AMC清浄機：突発的な汚染への緊急対策・スポット除去

高い機動性 FFU設置が困難な場所や、必要なエリアへ迅速に配置可能。 汚染ガスセンサー搭載 汚染ガス濃度を常時監視し、異常を検知。 応急対策として機能。 柔軟な構成 酸・塩基・有機フィルターなど3種類のフィルターを自由に組み合わせ、現場のニーズに合わせた対策が可能。 汚染源の特定 使用済みフィルターを分析し、現場環境の汚染ガス濃度や種類を推定可能。

次世代AMC対策

フィルターの寿命を最大化するSPRプレ洗浄機

導入事例：大手半導体メーカーA社様

課題

先進プロセス導入に伴い、微量AMCによる歩留まり低下に直面。

また、従来型一体型フィルターの交換工数と廃棄コストの増大が経営を圧迫していた。

提案

FFUに「引き出し式モジュラーフィルター」を導入。

汚染状況の分析に基づき、汚染が進行した層のみを定期的に交換する運用を提案。

作業の効率化と消耗品コストの最適化を図った。

結果

歩留まりが大幅に改善。

年間のフィルター関連のトータルコスト（消耗品、電力、廃棄、人件費）を数千万円以上削減。

交換作業時間は従来の1/3に短縮され、作業の安全性も向上した。