【展示会】第3回九州半導体産業展に出展します。

当社は2026年9月30～10月1日に福岡マリンメッセで開催される「第3回九州半導体産業展」にブース出展します。

九州半導体展とは、設備投資が加速する九州にて、最新の製造技術や装置ソリューションが一堂に会する専門展です。製造プロセスの歩留まり向上や装置の安定稼働など、半導体産業の現場が抱える重要課題の解決策が集結します。

当社ブースでは、「歩留まり向上と保全効率化」をテーマに、前工程から設備の維持保全まで現場の課題を解決するトータルソリューションをご紹介します。

出展製品

① マイクロアイスジェット（精密洗浄ノズル）
超高圧・高精度ノズルにより製造工程の微細異物や残渣を強力除去。
◎確実な洗浄力でウエハの歩留まり向上に貢献
◎高耐久設計で交換頻度を抑え、設備の安定稼働とランニングコスト削減を実現
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② 半導体装置向けロータリージョイント
ウエハ処理やCMP工程の回転部へ流体を高精度供給する回転継手。
◎高い耐薬品性により過酷な環境下でも薬液漏れやコンタミを低減
◎装置の「チョコ停」を防ぎ、歩留まり向上とパーツの長寿命化に貢献
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③ RPS / クライオポンプ / ジャケットヒーター修理再生
半導体製造装置の主要パーツ（RPS・クライオポンプ等）の修理・再生サービス。
◎新品交換に比べ大幅なコスト削減と納期短縮を実現
◎高度な整備技術で性能を復元し、設備停止期間の短縮と保全コスト削減に貢献
・RPS修理再生：▶製品情報はこちら
・ジャケットヒーター修理再生：▶製品情報はこちら

④ AMCケミカルフィルター
クリーンルーム内の有害ガス（AMC）を高効率除去するフィルター。
◎ウエハへの不純物付着を防ぎ、歩留まり向上に直結
◎長寿命・低圧損設計で交換の手間を減らし、空調の省エネと維持コスト削減を実現
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⑤ Tran AIウエハ欠陥検知システム
ウエハ検査工程を人手からAIへ置き換えるTRANCOM社製の光学検査システム。
◎検出率98.5%の高精度AI検知と1枚あたり0.2秒の高速スキャンを実現
◎生産設備への組み込みが可能で、スループットを落とさずに検査の自動化・省力化へ貢献

⑥ CMP関連部材
CMP工程で使用される各種消耗部材（ダイヤモンドディスク・リテーナリング・ダイヤモンドスクラブパッド）。
◎高精度な研磨部材によりウエハ表面の高度な平坦化と品質安定化を実現
◎優れた耐候性・耐久性により部材の長寿命化とコスト削減に貢献

展示会情報

展　示　会： 第3回九州半導体産業展
会　　　期： 2026年９月30日（水）～ 10月1日（木）10:00～17:00
会　　　場： 福岡マリンメッセ （A館／ブース番号A4-2）

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