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ジャケットヒーター修理

ジャケットヒーター修理

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半導体製造装置部品 修理・再生

ジャケットヒーターの修理再生はリックスが速い！最短1週間、国内対応

当社では半導体製造で使われる「ジャケットヒーター」の修理・復元・再生を行っております。サービス内容についてご紹介します。

01.最短1週間以内の短納期対応

お客様から製品をお預かりしてから最短1週間以内で修理完了・お戻しが可能です。※通常納期は2・3週間程度

02.安心の国内対応

三重県四日市の当社工場で修理対応します。

03.多くの種類で修理再生が可能

ラバータイプ、布タイプなど基本的にはどのようなジャケットヒーターでも修理再生が可能です。

ジャケットヒーターとは？

半導体製造の「成膜」工程において、ガスを通すパイプを温める機器をジャケットヒーターといいます。パイプに巻き付けて電気熱を発生させ、パイプを温めることでガスが冷えて固まることを防いでおり、製造工程において重要な役割を担っています。

交換・修理を検討するタイミング

当社自社工場では、連日、ジャケットヒーターの修理・再生・復元の依頼品をお預かりしています。（写真はmksシリコンラバーヒーターのほんの一部です）

当社にご相談頂くのは「昇温しない」というケースがほとんどです。発熱線の劣化、絶縁材の損傷、摩擦などによる断線、ガスによる劣化などが要因になっています。当社自社工場では、連日、ジャケットヒーターの修理・再生・復元の依頼品をお預かりしています。（写真はmksシリコンラバーヒーターのほんの一部です）

新品購入ではなく修理・復元・再生するメリット

新品購入ではなく修理・復元・再生するメリットは、コストダウン、SDGs貢献、産業廃棄物量削減、リスク分散、長納期化
01.コストダウン
故障した際、新品購入の費用と比べ、修理再生だとコストダウンができるケースが多いです。

02.SDGs貢献（産業廃棄物処分費の削減）
故障した際、新品購入の費用と比べ、修理再生だとコストダウンができるケースが多いです。

03.リスク分散（新品長納期化）
タイミングによって新品が入手困難な場合、修理したものを予備で保管しておくことでリスク分散につながります。

修理・復元・再生の実績（メーカー・型番）　

ラバータイプ、布タイプなど基本的にはどのようなジャケットヒーターでも修理再生が可能です。（下記は一例）

  • mks型式：9620-0592

    mks型式：9620-0592
    （AC100V/68W/0.68A/147.1Ω）

  • mks型式：9635-1075

    mks型式：9635-1075
    （AC100V/124W/1.24A/80.6Ω）
    （AC120V/178W/1.49A/80.6Ω）

  • mks型式：9620－0591

    mks型式：9620－0591
    （AC100V/101W/1.01A/99Ω）

  • mks型式：9620-0742

    mks型式：9620-0742
    （AC208V/65W/0.31A/665.6Ω）

MKS(エム・ケー・エス） 社製　修理・再生実績

9620-0592
（AC100V/68W/0.68A/147.1Ω）

9635-1075
（AC100V/124W/1.24A/80.6Ω）
（AC120V/178W/1.49A/80.6Ω）

9620-0591
（AC100V/101W/1.01A/99Ω）

9620-0742
（AC208V/65W/0.31A/665.6Ω）

9635-0571
（100V/96W/0.96A/104.2Ω）
（120V/138W/1.15A/104.2Ω）

9620-0594
（AC100V/80W/0.8A/125Ω）

9635-1071
（AC100N/81W/0.81A/123.5Ω）

9620-0739
（AC100V/43W/043A/232.6Ω）

9520-0060
（AC100V/35W/043A/285.7Ω）
（AC120V/50W/042A/285.7Ω）

9635-1073
（100V/122W/1.22A/82Ω）
(AC120V/176W/1.46A/82.2Ω)

9535-0410
（100V/60W/0.6A/166.7Ω）
（120V/87W/0.83A）

9615-0582
（100V/18W/0.18A/556Ω）
（120V/25W/0.21A）

9635-1073
（100V/122W/1.22A/82Ω）
(AC120V/176W/1.46A/82.2Ω)

9535-0410
（100V/60W/0.6A/166.7Ω）
（120V/87W/0.83A）

9615-0582
（100V/18W/0.18A/556Ω）
（120V/25W/0.21A）

9635-1246
（100V/34W/0.34A/294Ω）
(AC120V/41W/0.41A/293Ω)

4517-0027
（100V/78W/0.78A/128.2Ω）
(AC120V/113W/0.94A/127.7Ω

4517-1010
（100V/51W/0.51A/196.1Ω）
(AC120V/73W/0.61A/196.7Ω)

4517-0124
（100V/58W/0.58A/172.4Ω）
(AC120V/84W/0.70A/171.4Ω)

4517-0023
（100V/52W/0.52A/192.3Ω）
(AC120V/75W/0.63A/190.5Ω)

4517-0022
（100V/46W/0.46A/217.4Ω）
(AC120V/66W/0.55A/218.2Ω)

9699-1197
（100V/23W/0.23A/435Ω）

9635-0795
（AC100V/31W/0.31A/322.6Ω）

9635-1079
（AC120V/31W/0.26A/464.5Ω）

9635-1079
（100V/22W/0.22A/454.6Ω）
(AC120V/31W/0.26A/461.5Ω)

9540-0155
（AC100V/52W/052A/192Ω）

9630-0474
（AC208V/112W/0538A/386.6Ω）

9645-1005
（100V/24W/0.24A/416Ω）

9535-0795
（100V/31W/0.31A/322.6Ω）

9645-1004
（100V/24W/0.24A/416Ω）
(AC120V/35W/0.29A/414Ω)

9635-1078
（100V/22W/0.22A/454.6Ω）
(AC120V/31W/0.26A/461.5Ω)

9635-1079
（100V/22W/0.22A/454.6Ω）
(AC120V/31W/0.26A/461.5Ω)

18P2：27-130589-00
（100V/150W/1.5A/66.7Ω）

9536-0925
（100V/68W/0.68A/147Ω）
(AC120V/98W/0.81A/147Ω)

9635-1069
（AC100V/120W/1.2A/83.3Ω）

9615-0764
（100V/38W/0.38A/263Ω）
(AC120V/55W/0.458A/262Ω)

9635-1075
（AC100V/124W/1.24A/80.6Ω）
（AC120V/178W/1.49A/80.6Ω）

9635-1074
（AC100V/96W/0.96A/104.2Ω）

9635-1067
（AC100V/116W/1.16A/86.2Ω）
（AC120V/167W/1.39A/86.3Ω）

9635-1278
（AC100V/135W/1.35A/74．1Ω）
（AC120V/194W/1.62A/74．1Ω）

4630-1053
（120V/103.5W/0.86A）

9611-1019
（100V/33W/0.33A/303Ω）
(AC120V/48W/0.4A/300Ω)

P/N：100998617(Rev.A)
（100V/149W/1.49A/67.1Ω）
（120V/213.6W/1.78A）

9611-1018
（100V/28W/0.28A/357Ω）
(AC120V/41W/0.34A/353Ω)
  • 上記の型番以外もご相談下さい。またその他メーカー（Watlow、Nor-CAL、Brisc、AMAT、Inficon AG）も修理可能です。
  • その他、VOSヒーター、除外装置用ヒーター、トーチヒーター、マスフローコントローラーなどの修理再生も可能です。
  • お引き合いの際は、現物写真、メーカー名、型式、故障状況を記載頂けるとスムーズにご案内できます。

修理・復元・再生の対応例（MKS社製）

ヒーター断線が多い上記について、新品ラバー・ヒータを内壁から貼り合わせ修復します。（当社独自復元方法）

ヒーター断線が多い上記について、新品ラバー・ヒータを内壁から貼り合わせ修復します。（当社独自復元方法）




ジャケットヒーターは欠落した箇所も修理・再生・復元することが可能です。

上記のように、欠落した箇所も修理・再生・復元することが可能です。



  • 断熱材欠落部の補修及び止金（フック、バンド）の補修も実施できます。mks型式：9635-1075は、補修後10年以上ご使用頂けております。

    断熱材欠落部の補修及び止金（フック、バンド）の補修も実施できます。下記型式ヒータは、補修後10年以上ご使用頂けております。
    mks型式：9635-1075（AC100V/124W/1.24A/80.6Ω）（AC120V/178W/1.49A/80.6Ω）



CKDメインバルブ用3連結 シリコンラバーヒータ（SAMICON XX）Φ8”用（Φ200mm）用メインバルブVYXシリーズVEC－VH8－X0101（VECシリーズ）について、個々にヒータを着脱式に改善し、不良箇所のヒータのみ交換できるようにして今後のメンテナンス性を向上させております。

CKDメインバルブ用3連結 シリコンラバーヒータ（SAMICON XX）Φ8”用（Φ200mm）用メインバルブVYXシリーズVEC－VH8－X0101（VECシリーズ）について、個々にヒータを着脱式に改善し、不良箇所のヒータのみ交換できるようにして今後のメンテナンス性を向上させております。

■オプション
・ヒータ断線監視ＬＥＤランプ取付
・ヒータ断線監視回転灯(電池式LED回転灯：連続400H)（後付可能タイプ）


修理中はジャケットヒーターの代替品もご用意いたします。


修理中はジャケットヒーターの代替品もご用意いたします。
・ヒータ断線監視LEDランプ付標準
・熱電対内設標準タイプ
・過昇温防止サーモＳＷ＋温度ヒューズ付標準
（国産品の為、安全性・信頼性ＵＰ）（100V/150W/1.5A/66.7Ω）（120V/215W/1.79A/67Ω）

修理・復元・再生の対応例（その他メーカー）

MKS社製だけでなく、その他メーカー（Watlow、Nor-CAL、Brisc、AMAT、Inficon AG）も修理可能です。

  • NOR-CAL社製(ｱｲｿﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ用) P/N：HESV-150-1

    NOR-CAL社製(ｱｲｿﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ用)
    P/N：HESV-150-1
    （AC120V/32W/0.27A/450Ω）

  • WATLOW TEOS Piping Heater P/N：020055501Ｈ

    WATLOW TEOS Piping Heater
    P/N：020055501Ｈ
    AC19V/13w/27.8Ω

  • 坂口電熱社製 Piping Heayer

    坂口電熱社製
    Piping Heayer
    AC120V/181W

  • AMAT社製 TEOS Piping Heater（140℃制御） P/N：0195－00218 Rev.002

    AMAT社製 TEOS Piping Heater（140℃制御）
    P/N：0195－00218 Rev.002
    AC208V/100w

  • Inficon AG社製 Piping Heater P/N ：0190-23502

    Inficon AG社製 Piping Heater
    P/N ：0190-23502
    AC208V/80w

オプション提案

修理・復元・再生だけでなく、今後不具合が発生しにくいよう、下記のような改善案も一部オプションとしてご提案しております。

例 01：PANEL HEATER 長寿命復元再生

既存PANEL HEATER（P/N:2110-3522200-11）の不具合内容
既存PANEL HEATER（P/N:2110-3522200-11）の不具合内容
・温度ヒューズが飛びやすい
・ベルグロテープ（マジックファスナー）が焼損しやすい
・知らぬ間にベント廃棄できなくなりプロセス異常が発生
・新品購入費が高額

改善内容と効果
改善内容と効果
・温度ヒューズ交換
・Ｋタイプ熱電対を内設し温度精度UP
・オーバーシュートの確認可能
・省エネ
・メンテナンスコストの大幅な低減
・オプション：ヒータ断線監視LEDランプ実装可能（目視確認）

例 02：樹脂カバー・ボタンホックの材質改善

改善前と改善後。樹脂カバー・ボタンフックに使われている材質に、耐熱バンド＋メタル・ボタンフックを採用することで強度を高めることができます。
樹脂カバー・ボタンフックに使われている材質に、耐熱バンド＋メタル・ボタンフックを採用することで強度を高めることができます。



ジャケットヒータ修理についてお問い合わせの際は、現物写真、メーカー名、型式、故障状況を記載頂けるとスムーズにご案内できます。

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