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レベルの異物除去が洗浄で可能。フラットな異質も除去可能。
マイクロアイスジェット生産設備仕様、試験用簡易仕様
マイクロアイスジェットの特長はエアと水だけで氷を生成、氷の力でバリの除去を行い高圧洗浄を行います。
【開発品】ドライアイススマートジェット(ドライアイス洗浄)
ドライアイススマートジェットは、半導体製造の中工程、後工程向けに特化した新しいドライアイス洗浄システムです。
精密洗浄ノズル
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