当社社員が第10回ものづくり日本大賞 優秀賞を受賞しました。

当社社員および福岡県工業技術センター職員の計5名がこの度、第10回「ものづくり日本大賞」（経済産業省・国土交通省・厚生労働省・文部科学省で共同実施）で優秀賞を受賞しましたことをお知らせします。

■案件名
マイクロアイスジェットによる超精密洗浄技術の開発

■受賞者
リックス株式会社（4名） / 福岡県工業技術センター 機械電子研究所（1名）
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■概要
半導体の微細化により、製造における異物除去のために洗浄工程の重要性が増している。受賞者らは特殊なラバルノズルを用いて圧縮空気と水をノズル内に供給し、氷粒子や過冷却水滴からなる｢マイクロアイスジェット｣を生成、超音速で噴射する超精密洗浄技術を実用化した。

液体窒素や液化炭酸ガスなどの冷媒を使わないため、低コストかつ高精度な洗浄を実現。ナノスケールの異物除去性能で、環境負荷も小さく、海外の大手半導体製造メーカーにも採用され、開発競争における差別化技術となっている。（HPより抜粋）

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