RPS（リモートプラズマソース）修理
半導体製造装置部品 修理・再生
当社でRPS（リモートプラズマソース）を修理するメリット
01.最短1週間以内の短納期対応
お客様から製品をお預かりしてから最短1週間以内で修理完了・お戻しが可能です。※通常納期は2・3週間程度
02.安心の国内対応
三重県四日市の当社修理工場で修理対応します。修理内容を工場で直接ご覧頂くことも可能なので安心いただけます。
03.修理後は6か月保証
修理後も安心対応！通常2～3か月の場合が多い保証期間ですが当社では6か月保証いたします。
※初期不良は無償修理
RPS（リモートプラズマソース）とは？
半導体製造工程において、処理装置（チャンバー）の外でプラズマを発生させ、そのプラズマでチャンバー内をクリーニングしたり、薄膜を形成したりする装置が「RPS（リモートプラズマソース）」です。
RPS（リモートプラズマソース）修理工程
当社のRPS（リモートプラズマソース）修理は、上記の流れで実施しています。三重県四日市の工場で修理するため、短納期でのお戻しが可能です。
修理対応可能な機種
| 容 量 | 型 式 | ||
| 国内修理対応 | RPS 2L | FI20620 | AX7657 |
| RPS 3L | AX7670 | AX7671 | |
| RPS 6L | FI80131 | AX7685 | |
| RPS 22L | AX7635 | ||
|
海外（韓国）修理対応 |
RPS 15LRH | AX764RH | |
| RPS 15LPS | AX7645PS | ||
| Paragon | AX7700 | ||
| revolution | AX7695 | ||
上記以外にも修理対応可能な機種もございます。お気軽にご相談ください。
マッチングボックスも修理可能
マッチングボックスの修理が可能です。部品交換だけでなく、調整・テストまで行います。お気軽にご相談ください。
その他、真空ポンプ、ターボ分子ポンプ、ドライポンプなどの修理再生も可能です。お引き合いの際は、現物写真、メーカー名、型式、故障状況を記載頂けるとスムーズにご案内させて頂きます。
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