ULPAフィルター
エア・ガス用フィルター
特長
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粒径0.1㎛の粒子を99.999%以上捕集
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セパレータータイプとミニプリーツタイプの他、PTFEろ材のタイプもあり
- Clean RoomのCLASS 100以上のとき適用
- GEL –TypeのGasketに適用可能
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耐食性Al Frame使用
用途
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半導体工場、半導体機器、電子光学関連産業の高清浄度が要求される所に使用
材質
メディア：グラスファイバー
フレーム：アルミニウム/合板/ステンレス鋼
セパレーター：アルミニウム/クラフト紙/ホットメルト
シール：ポリウレタン
ガスケット：ネオプレン/EPDM
仕様
効率：99.9999%以上 (@0.1μm P.A.O.)
最高使用温度：80℃/60℃
最高使用湿度：100%RH
サイズ：各種寸法対応可
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エアフィルター
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