半導体業界向け

■コンセプト
・このロータリージョイントは半導体業界用に開発され、純水・薬液供給用で主回路には非金属材料を
    使用し、液体中への金属イオンの溶出を極力低減するロータリージョイントです。

■特徴
・主流路には非金属材料を使用し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減。

■流体
・純水、薬液　等　（別途御相談下さい）

■使用条件

■コンセプト
・このロータリージョイントも半導体業界用に開発され、接液部に非金属材料の 使用やコーティングを
    施し、液体中への金属イオンの溶出を極力おさえる構造も可能なロータリージョイントです。

■特徴
・接液部に非金属材料の使用やコーティングを施し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減する構造も
   可能。

■流体
・純水、エアー、真空、スラリー　等　（別途御相談下さい）

■使用条件

※半導体業界向けロータリージョイントはオーダーメード品となります。

　仕様に関しましては、別途御相談下さい。