半導体業界向け
シングルポート L40 シリーズ
■コンセプト
・このロータリージョイントは半導体業界用に開発され、純水・薬液供給用で主回路には非金属材料を
使用し、液体中への金属イオンの溶出を極力低減するロータリージョイントです。
■特徴
・主流路には非金属材料を使用し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減。
■流体
・純水、薬液 等 (別途御相談下さい)
■使用条件
圧力(MPa) | 回転数 (min-1) | ポート数 | |
---|---|---|---|
L40 | 1 |
600 |
1 |
マルチポート MFES シリーズ
■コンセプト
・このロータリージョイントも半導体業界用に開発され、接液部に非金属材料の 使用やコーティングを
施し、液体中への金属イオンの溶出を極力おさえる構造も可能なロータリージョイントです。
■特徴
・接液部に非金属材料の使用やコーティングを施し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減する構造も
可能。
■流体
・純水、エアー、真空、スラリー 等 (別途御相談下さい)
■使用条件
圧力(MPa) | 回転数 (min-1) | ポート数 | |
---|---|---|---|
MFES | 1 |
200 |
2~ |
※半導体業界向けロータリージョイントはオーダーメード品となります。
仕様に関しましては、別途御相談下さい。
製品情報
ロータリージョイント
(回転継手)
- 水/温水用高速タイプ(一般産業機械向け) LC型
- 高温用高速タイプ (一般産業機械業界向け) LCH型
- 半導体業界向け
- クリアランスシールタイプ MFC型
- マルチフロー(複数ポート)用 MF型
- ゴム・タイヤ業界向け NB型
- 製紙業界向け V型
- 鉄鋼業界(連続鋳造設備)向け CB型
- 鉄鋼業界(連続鋳造設備)向け J型
- 工作機械用 ベアリングレスタイプ ESX20M-Lシリーズ
- 工作機械用 ベアリングレスタイプ ESX20M-S&Eシリーズ
- 工作機械用 ベアリングレスタイプ ESX20V-Lシリーズ
- 工作機械用 ベアリングレスタイプ ESX20M-Tシリーズ
- 工作機械用 ベアリング内蔵タイプ LX84M,86Mシリーズ
- 工作機械用 ベアリング内蔵タイプ LX84V,86Vシリーズ
- 工作機械用 ベアリング内蔵タイプ LX88Vシリーズ(外部支持タイプ)
- 旋盤チャック用ベアリング内蔵タイプ LA1Pシリーズ(1ポート)
- 旋盤チャック用ベアリング内蔵タイプ EES-2P03(2ポート)
- ボールねじ冷却用ベアリングレスタイプ ES50シリーズ
- ロータリージョイント&スイベルジョイント
- スラッジ固着低減タイプ オートフラッシュ(Auto Flush)