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ロータリージョイント(回転継手):半導体業界向け

半導体業界向け
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  • 半導体

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シングルポート L40 シリーズ

純水&薬液供給用

■特徴

・主流路には非金属材料を使用し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減。

■流体

 ・純水、薬液 等 (別途御相談下さい)

■使用条件

  圧力(MPa) 回転数 (mim-1) ポート数
  L40 1

600

1

マルチポート MFES シリーズ

CMP&グラインダー用

■特徴

・接液部に非金属材料の使用やコーティングを施し、流体中への金属イオンの溶出を極力低減する構造も
   可能。

■流体

 ・純水、エアー、真空、スラリー 等 (別途御相談下さい)

■使用条件

  圧力(MPa) 回転数 (mim-1) ポート数
  MFES 1

200

2~

※半導体業界向けロータリージョイントはオーダーメード品となります。

 仕様に関しましては、別途御相談下さい。

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