このページの先頭です

微粒氷粒子洗浄ノズル:マイクロアイスジェット

マイクロアイスジェット

型式:生産設備仕様、試験用簡易仕様

お客様の事業別
  • 半導体

お問い合わせはこちら

洗浄例

洗浄対象とする領域

洗浄方式の比較

  • 強力な剥離力はありません。微細な洗浄、特に微細凹凸面の洗浄に威力を発揮します。
  • CO2を使用しないので環境負荷が少なくてすみます。
  マイクロアイスジェット CO2ジェット 2流体ノズル
粒子材質 過冷却水&凍結粒子
(固体)
CO2 凍結粒子 
(固定)
水 
(液体)
粒子速度 400〜450m/sec 300〜400m/sec 50〜100m/sec
粒子径 D30=10μm 5〜50μm 10〜20μm
微細洗浄
凹凸面洗浄 × ×
ランニングコスト ×
環境負荷 ×
主な適用先 ・ウエハのシリコンカス除去
・ウエハのポリマー除去
・BG、ポリッシュ洗浄
・ウエハ洗浄 ・ウエハ洗浄
・液晶パネルの洗浄

原理

マイクロアイスジェットの原理

圧縮エアはスロート部で音速に達し、拡張部で超音速に加速する際に断熱拡張し、温度が低下する。
供給された水滴は、1.加速 2.冷却されて、微小な氷粒子と過冷却液滴となって超音速で噴射。

マイクロアイスジェットの特長

  • エアと水だけで微細な氷粒子を形成 (製氷器や窒素ガスなどは不要)
  • 氷粒子の大きさが安定しており、氷の詰まりがない
  • 洗浄対象の表面を傷つけずに異物だけを除去

氷の状態と洗浄対象

  硬い氷 柔らかい氷
洗浄原理 硬い氷が衝突することで、
洗浄対象物を掘り下げて除去する
表面にシャーベット状の氷塊が生成され、
異物を取り込んで吹き飛ばす
水供給量 数 mL/min (少ない) 数十 mL/min (多い)
洗浄対象例 ・マジックインキの剥離
・一部レジストの剥離
・ヒゲバリなどの除去
・弱い力で付着しているコンタミ
洗浄写真
マジックコートの除去
(×200倍顕微鏡写真)

ウエハの洗浄

境界層よりも小さな異物の除去が可能

動画

サムネイル

噴射装置

噴射制御ユニット(生産設備仕様)

仕様概要

◆噴射ノズル

外形寸法 Φ26+口40
長 さ 250mm
重 量 1kg

※スポット径 約3mm

◆制御BOX(生産設備仕様)

外形寸法 280W×420D×460H
管理対象
(警報有り)
エア温度・エア圧力
水温度・水流量・水圧力
電 源 AC100Vブレーカ容量2A
重 量 22kg
外部とのI/O リモート操作可能
警報出力有り

※レンタルも可能です。

噴射制御ユニット(試験用簡易仕様)

仕様概要

警報、ポンプ、装置側とのI/Oが無いので、生産設備には使用できませんが、試験用途に御使用できます。ポンプが無いので、給水ラインが必要です。ノズル部は同じです。

◆噴射ノズル

外形寸法 Φ26+口40
長 さ 250mm
重 量 1kg

※スポット径 約3mm

制御BOX(試験用簡易仕様)

外形寸法 222W×230D×228H
管理対象
(警報無し)
エア温度・エア圧力
水温度・水流量
電 源 電源無し
重 量 5kg
外部とのI/O I/Oなし

※レンタルも可能です。

お問い合わせはこちら

お探しの商品は見つかりましたか?

見つからない場合は以下のカテゴリーからお探しください。

  • 製品カテゴリーから探す
  • お客様の事業から探す